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基于CVD传感元件平台ASHCROFT雅斯科ZT/ZX/ZL系列高纯压力传感器

   日期:2022-04-24     来源:ASHCROFT雅斯科    作者:ASHCROFT雅斯科     浏览:2    评论:0    
核心提示: 半导体工业随着汽车制造,人工智能,物联网,工业4.0等领域的飞速发展,面临着产能,可靠性,供应链成本等重大挑战。雅斯科的
 半导体工业随着汽车制造,人工智能,物联网,工业4.0等领域的飞速发展,面临着产能,可靠性,供应链成本等重大挑战。雅斯科的压力测量技术和产品,包括配备CVD传感元件的高纯压力传感器以及使用 Si-Glas? 超薄单晶硅膜片可变电容传感元件的微差压传感器,在诸如气体控制面板,氢气压力检测,以及洁净室关键环境控制等应用领域,为半导体制程和设备提供精确的测量和有效的保障。
基于CVD传感元件平台ASHCROFT雅斯科ZT/ZX/ZL系列高纯压力传感器
  
  高纯气体的纯度至少为99.999%,其清洁度水平超过制药行业的一万倍甚至更多。如此高标准的要求是基于半导体制程的精密性,也因为制程一旦被污染所造成的损失巨大。实际上某些设备涉及多达400个工艺步骤,也增加了被污染的机率。
  
  因此压力传感器必须具有高准确性,高洁净度,接液材质应能与多种气体兼容,同时应确保介质和颗粒潴留的可能性降到最低程度。部分应用场合需要符合气密性要求。
  
  雅斯科ZT/ZX/ZL系列高纯压力传感器基于CVD传感元件平台,是超纯应用的专用压力传感器产品,其产品特性包括能适应不同介质的接液元件材质,如316L, A286,Co-Ni 合金等,也包括VCR接头,以及符合规范的表面光洁度和测量精度。每台产品都经过泄漏检测(<5 x 10?? atmcc/s)以及双重包装处理,确保完整性和洁净度。
  
  CVD传感元件技术,是以化学气相沉积的工艺(Chemical Vapor Deposition),使多晶硅薄膜与接液基座形成原子级别的牢固结合,是确保ZT/ZX压力传感器的稳定性与可靠性的关键。
  
  雅斯科GX/CX/DX等微差压传感器产品基于MEMS制造的的Si-Glas? 超薄单晶硅膜片可变电容传感元件,采用雅斯科TruAccuracy?技术进行校验, 充分考虑零点和满量程误差,可选SpoolCal?设计,允许在线标定和校验。
  
  Si-Glas传感元件使用的硅膜片具有良好的弹性和延展性,金属和晶体通过溅射的方式与硅片牢固结合,因此传感元件具有良好的温度范围和安装位置变化的适应性,具有良好的长期稳定性。这是雅斯科特有的技术,也是确保雅斯科的微差压传感器精确可靠的关键。
 
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