半导体工业随着汽车制造，人工智能，物联网，工业4.0等 域的飞速发展，面临着产能，可靠性，供应链成本等重大挑战。雅斯科的压力测量技术和产品，包括配备CVD传感元件的高纯压力传感器以及使用 Si-Glas? 超薄单晶硅膜片可变电容传感元件的微差压传感器，在诸如气体控制面板，氢气压力检测，以及洁净室关键环境控制等应用 域，为半导体制程和设备提供精确的测量和有效的保障。

　　

　　高纯气体的纯度至少为99.999%，其清洁度水平超过制药行业的 万倍甚至更多。如此高标准的要求是基于半导体制程的精密性，也因为制程 旦被污染所造成的损失巨大。实际上某些设备涉及多达400个工艺步骤，也增加了被污染的机率。

　　

　　因此压力传感器必须具有高准确性，高洁净度，接液材质应能与多种气体兼容，同时应确保介质和颗粒潴留的可能性降到 低程度。部分应用场合需要符合气密性要求。

　　

　　雅斯科ZT/ZX/ZL系列高纯压力传感器基于CVD传感元件平台，是超纯应用的专用压力传感器产品，其产品特性包括能适应不同介质的接液元件材质，如316L, A286，Co-Ni 合金等，也包括VCR接头，以及符合规范的表面光洁度和测量精度。每台产品都经过泄漏检测(<5 x 10?? atmcc/s)以及双重包装处理，确保完整性和洁净度。

　　

　　CVD传感元件技术，是以化学气相沉积的工艺(Chemical Vapor Deposition)，使多晶硅薄膜与接液基座形成原子 别的牢固结合，是确保ZT/ZX压力传感器的稳定性与可靠性的关键。

　　

　　雅斯科GX/CX/DX等微差压传感器产品基于MEMS制造的的Si-Glas? 超薄单晶硅膜片可变电容传感元件，采用雅斯科TruAccuracy?技术进行校验, 充分考虑零点和满量程误差，可选SpoolCal?设计，允许在线标定和校验。

　　

　　Si-Glas传感元件使用的硅膜片具有良好的弹性和延展性，金属和晶体通过溅射的方式与硅片牢固结合，因此传感元件具有良好的温度范围和安装位置变化的适应性，具有良好的长期稳定性。这是雅斯科特有的技术，也是确保雅斯科的微差压传感器精确可靠的关键。